沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，注册资本8400万元，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，拥有省级企业技术中心和省级工程实验室。2019年，芯源微在上海证券交易所科创板上市，成为半导体光刻设备企业第一股、辽宁省科创板第一股，总市值近200亿元。
公司主要产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，广泛应用于芯片制造、先进封装、MEMS、LED等领域。作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白。截止目前累计销售1200余台套，作为主流机型成功打入包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌、东莞中图等在内的多家国内知名一线大厂，堪称国内半导体装备产业细分市场的“隐形冠军”。
芯源微立足自主研发，持续引进行业高端人才，连续承担国家02科技重大专项，通过多年技术积累、创新提高，形成自主知识产权体系，截至2021年6月30日，芯源微拥有授权专利212项，拥有软件著作权49项，主持制定行业标准2项。
受益于国内半导体产业的蓬勃发展，芯源的订单剧增，2021年前三季度公司实现营业总收入5.47亿，同比增长158.2%；实现净利润5300万。2020年7月27日，芯源公司新厂区扩产项目—高端晶圆处理设备产业化项目隆重开工，致力于打造东北地区顶级的半导体专用设备研发与生产基地。该项目的投入使用，将有效解决生产空间及生产能力不足的问题，预计该项目一期工程达产后产值可达到10亿元，纳税7500万。
